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洁净室的空气气流有什么特点?洁净室空气气流特点说明[附说明书]

时间: 2021-03-25 08:18:25来源: 无锡格纯净化设备有限公司
  洁净室的空气气流有什么特点?洁净室空气气流特点说明[附说明书]
  洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
  一方面,洁净室工程内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间。此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱。虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以朂适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
  另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异。特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。


  洁净室朂主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非99.99%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
  垂直层流式方向要保持均一气流必须:
  (1)吹出面的风速不可有速度上的差异;
  (2)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
  影响洁净室工程的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
  一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走。若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

  洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少更低。组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

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